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イメージングエリプソメータ・アクティブ除振台 (Accurion GmbH)

イメージングエリプソメータ・アクティブ除振台 (Accurion GmbH)

AccurionはMax Plank Institute / Biophysical Chemistry (Gottingen)から1991年スピンオフし設立されました。
Nanofilmブランドのイメージングエリプソメーターやブリュースター角顕微鏡の製造販売を始め、Langmuir-Blodgett膜、バイオチップ、フラットパネルディスプレイなどの様々な研究分野でのアプリケーションを開拓してきました。
また、Halcyonicsブランドのアクティブ除振台は世界最高水準の除振能力を誇り、著名なAFMメーカーとOEM契約をし、様々な精密機器のパフォーマンス向上に役立っています。

 Nanofilmイメージングエリプソメーター

膜厚分布の3Dマップ化によるナノストラクチャー解析

従来のエリプソメーターは方位分解能が約50μmぐらいで、膜厚測定はレーザースポットがあたる1点のみを測定していました。
これに対しイメージングエリプソメーターEP3シリーズは方位分解能1μm、深さ方向の測定精度は0.004nm(SiO2/Si)を達成し、膜厚分布の3Dマップ化が可能です。ナノストラクチャーの解析に有効な装置です。pict_feature08

Halcyonicsアクティブ除振台

測定装置のパフォーマンスを最大限に高める:

model04●6自由度アクティブ制御
●共振周波数無し
●移動時のロック機構を装備
●オートロードアジャストメント
●ユーティリティーは100V電源のみ

主な用途:AFM、SPM、レーザー顕微鏡、干渉計、表面粗さ計、ナノインデンター、その他の精密機器

理化学関連装置特設サイト

 

メーカー ProChimia Surfaces,
メーカー国名 ドイツ
関連URL http://www.ksv.jp/nanofilm/
お問合せ先 AS営業部
ml-sentan@altech.co.jp
Tel : 03-5542-6754
Fax : 03-5542-6766

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