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HexGen^® HEX150-125HL 小型ヘキサポッド６自由度位置決めシステム

HexGen^® HEX150-125HL は、コンパクトでありながら高剛性のプラットフォームで、６自由度の動作を安定かつ確実に実現します。HEX150-125HL は、AEROTECH 社の高性能モーションコントローラーと組み合わせることで、直感的な操作性とシンプルなシステム統合を実現しており、限られたスペースで複雑な多自由度動作が求められる用途に最適なシステムです。

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【特徴】
・コストパフォーマンスに優れた第2世代設計で、卓越した性能を実現
・業界トップクラスの最小インクリメンタルモーション 15 nm を達成
・最大 12 kg のペイロード対応能力
・最高 30 mm/s、30°/s の高速動作でプロセススループットを向上
・効率的な 2本ケーブル設計により、システム配線や統合が容易
・非常に堅牢な設計で高い信頼性を実現
・AEROTECH コントローラとの連携により、他の軸（サーボ、ステッピング、ガルバノ等）との協調動作も簡単に実行可能

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1. 同時に複数の軸方向へ移動することはできません。詳細なワークスペースについては別途ご相談ください。
2. 各軸を単独で動かし、可動プラットフォーム上部から 50 mm の高さで測定。測定結果は、搭載重量や作業位置によって異なります。
3. X、Y、Z 軸の性能は標準仕様として保証。
4. 十分な電圧および電流容量を備えた、適切なアンプの選定が必要。
5. 荷重は中心載荷を基準としています。荷重曲線をご参照ください。掲載値を超えるペイロードについては、工場までお問い合わせください。
6. ベースプレートは水平、荷重は中心載荷を基準としています。荷重曲線をご参照ください。

FiberMax^®HP シリーズ 多軸光学素子アライメントシステム

FiberMax^®HP は、AEROTECH 社 ANT ナノポジショニング製品ラインを基盤とした、第2世代の 3 ～ 6 軸光学素子アライメント用のプラットフォームです。高度に自動化された 24 時間 365 日の生産環境においても、速度・精度・分解能を一切妥協することなく、フォトニクスアライメントに求められる厳しい要件に対応するよう設計されています。

【特徴】
・高性能 ANT ナノポジショナーを基盤とした第２世代フォトニクスアライメントプラットフォーム
・最大６軸の高精度モーション制御
・24 時間可動の製造現場で実証された高い信頼性
・全軸に非接触・ダイレクトドライブ方式を採用し、高スループットアライメントを実現
・リニアモーションで最小インクリメンタルモーション 2 nm、回転モーションで 0.05 μrad を達成
・標準スキャンアルゴリズムで仮想ピボットポイント運動学を搭載した高性能コントローラ
・豊富な標準構成とオプションによる柔軟な設計
・業界標準のパワーメーターとのインターフェースに対応

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1. 表記の値は、各軸ごとに、上部取付けプラットフォームから 20 mm 離した位置で測定
2. AEROTECH 社製コントローラー必要
3. 各システムごとに認証済み
4. 十分な電圧および電流容量を備えた、適切なアンプの選定が必要
5. 軸方向荷重

光学部品アセンブリ自動化システム

AEROTECH 社光学部品アセンブリ自動化ソリューションは、お客様の特定のアプリケーションやプロセスに合わせて設計することも、汎用的なプロセス開発に必要な柔軟性を持った設計も可能です。コンポーネントレベルのソリューションから、完全自動化システムまでご提供いたします。高度な「Automation」モーションコントロールプラットフォームを活用することで、あらゆる光学部品のアセンブリ作業を容易に実現することが可能です。

【特徴】
・広い作業領域における精密組立向け広範囲 XY ガントリーおよびナノオーダーの位置制御多軸ステージ
・エアアイソレーションシステムおよびメカニカルフレーム
・プロセス用電子機器を収納可能な独立型電子制御コンソール

ウェハ/ダイレベル光学検査システム

AEROTECH 社の光学検査ソリューションを使用することで、ウェハおよびダイレベルでの表面およびエッジの光学検査を容易に行うことができます。ダイレクトドライブ式を採用し、細送りや粗送りといった機械的な位置決め機構を必要とせず、長距離ストロークにおいても高スループットかつ高精度を実現します。

【特徴】
・最小移動量 0.5 nm まで対応するナノポジショニングプローブアライナー
・回転および垂直アライメント軸を備え、最高の柔軟性を実現するウェハ位置決めステージ
・プロセス開発やインテグレーションのためのコンポーネント、サブシステム、システムソリューションを提供
・光パワー測定も簡単に統合可能
・電気プローブや顕微鏡、その他のテスト機器を搭載した他のモーション軸との連携も容易

光学アライメントアルゴリズム

AEROTECH 社の FiberMaxHP をはじめとする高精度モーション機構や、その他の光学素子アライメント用プラットフォームは、光学デバイスの試験や製造において高品質な結果と高いスループットを実現するために不可欠です。しかし、これらの高精度アライメント用途のハードウェアはソリューションの一部に過ぎません。モーションコマンドを最適化する制御ソフトウェアは新しいアプリケーションの立ち上げ時間を短縮し、高精度機構や駆動用エレクトロニクスと組み合わせることで、アライメント精度と速度を向上させ、現代のフォトニクス製造プロセスが求める品質とスループットの要求を満たします。

AEROTECH 社の AeroAlign 光学アライメントアルゴリズムは、Automation １モーションコントロールプラットフォーム上で動作するあらゆるシステムに対応し、これらの複雑なフォトニックアライメント課題の解決のために専用設計されています。AeroAlign アルゴリズムは、直列および並列運動機構を含む多様な運動学構成に対応しており、お客様の特定のプロセスに最適化できるよう、幅広いパラメータ設定が可能です。さらに、AeroAlign アルゴリズムパッケージには、物理的なハードウェアで実際のアライメントを行う前に、仮想環境でプロセスの設計とテストを実施できる信号シミュレーション機能も搭載されています。各 AeroAlign アルゴリズムの詳細については、以下で説明します。

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【産業】
・航空宇宙＆防衛
・データストレージ
・半導体＆エレクトロニクス
・レーザー加工
・医療＆ライフサイエンス
・光学・フォトニクス：光集積回路（PICs）、シリコンフォトニクス（SiPh）、ファイバーケーブルの調芯、光導波路、ファイバーブラッググレーティング、マイクロ光学素子などの検査、試験、組立て、パッケージング
・精密製造
・試験＆検査