DEPxシリーズ

・コンパクトなフットプリント
・モジュールデザインによりインライン、バッチ対応可
・高速成膜レート(1-50nm/s)　
・ご要望によりSiN、SiOx、ZnOx、SiO、a-Si等の材料へも対応可　
・リニアモーターシステムによるキャリア移送　
・独自デザインによりクリーニング時間を大幅に短縮

同装置を組み込んだターンキーシステムも提案可能です。